技术编号:3470285
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多晶硅的生产设备,尤其是一种用于生产多晶硅的多晶硅还原 炉。背景技术随着科技的发展,太阳能光伏产业和半导体工业的发展也越来越迅猛。作为太阳 能光伏产业以及半导体工业主要的原料的多晶硅,其工业需求也是越来越大。目前,业界生产多晶硅的方法有多种,其中较为常见的是氢还原法。其是把提纯好 的三氯氢硅和净化好的氢气作为原料,通入到反应容器内,在高温、高压环境下,两者在反 应容器内发生化学反应,形成多晶硅,并沉积在反应容器内的电极发热体上。随着化学反应 ...
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