技术编号:3470508
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于及化学机械抛光,特别涉及一种超高纯二氧化硅溶胶的 纯化方法。 背景技术在过去的几十年里, 一个以计算机、互联网、无线通信和全球定位系统组成 的信念社会逐渐形成。这个信息社会的核心部分是由众多内建于系统中的细小集成电路(IC)芯片支持和构成的,集成电路已经广泛应用于生活中的各个领域。 在电子制造领域,戈登,摩尔于1965年提出了他著名的观察结果,即人所共知的 "摩尔定律"。摩尔发现并预测在一片相同尺寸的集成电路晶片上,所容纳的晶 体管数量会每两年翻...
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