技术编号:3471033
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多晶硅生产中还原转化尾气回收所得氢气的纯化工艺,流程图见附图1。它将多晶硅生产过程中,多晶硅生产中还原转化尾气回收所得氢气,在15bar、25-30℃时经过硅胶和活性炭为吸附剂的变温吸附器,去除回收氢气中微量的HCL、氯硅烷。然后再经过以分子筛为吸附剂的变压吸附器降低回收氢气中的甲烷、氮气。此整个工艺过程可以将氮气含量降至100ppmv以下,甲烷含量降至50ppmv以下,最后经过滤缓冲送至用气工段。本发明工艺流程将多晶硅生产中还原转化尾气回收...
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