技术编号:3471258
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种三氯氢硅的等离子体制备方法及其制备设备。首先氢气与四氯化硅蒸汽按一定比例混合,然后将其预热到一定温度,预热后的混合气体经过等离子体反应器,产物随后经过冷却同时进一步发生反应,之后被冷凝为液体,冷凝后的产物最后收集并分离。本发明所述方法及其装置完成对四氯化硅的氢化,生成三氯氢硅,具有处理成本低、工作效率高、无环境污染等特点。专利说明一种三氯氢硅等离子体制备方法及其制备装置[0001]本发明涉及一种三氯氢硅等离子体制备方法及其制备装置。技术背景[0002]...
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