技术编号:3471670
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种由卤硅烷制备氢化硅烷的方法。氢化硅烷及其混合物在文献中被描述为制造硅层的可能原料。氢化硅烷应理解为表示基本只含有硅和氢原子的化合物。氢化硅烷可以是气体、液体或固体,并且在固体的情况下,基本可溶于例如甲苯或环己烷的溶剂,或例如环戊硅烷的液体硅烷。实例包括甲硅烷、乙硅烷、丙硅烷、环戊硅烷和新戊硅烷。具有至少三个或四个硅原子的氢化硅烷可以具有带有Si-H键的直链、支链或(任选双-/多-)环结构,并且可以由特定通式SinH2n+2 (直链或支链;其中...
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