技术编号:3472678
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种多晶硅还原酸洗系统,包括抽风机、硅块酸洗机、硅芯酸洗机和为硅块酸洗机与硅芯酸洗机供应酸液的酸液供应装置,硅块酸洗机、硅芯酸洗机与酸液供应装置通过管道并联至抽风机,该抽风机与酸雾淋洗塔相连并将硅块酸洗机、硅芯酸洗机与酸液供应装置中的酸雾抽出后导入到酸雾淋洗塔。酸液供应装置与抽风机之间的管道设置有第一风量调节阀,硅块酸洗机与抽风机的管道上设置有第二风量调节阀,硅芯酸洗机与抽风机的管道上设置有第三风量调节阀。本发明的多晶硅还原酸洗系统,可以分别控制各自产生酸...
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