多晶硅冷氢化洗涤系统的制作方法技术资料下载

技术编号:3472679

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一种多晶硅冷氢化洗涤系统,其包括用于接收进料的文丘里洗涤器、洗涤塔、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连的分离罐、与文丘里洗涤器和洗涤塔相连并将洗涤液从洗涤塔抽入文丘里洗涤器中的文丘里循环泵、与洗涤塔并将洗涤塔内的气体冷凝的冷凝器及将冷凝器中液体抽入洗涤塔中淋洗物料的洗涤液循环泵。多晶硅冷氢化洗涤系统还包括连接洗涤液循环泵及文丘里洗涤器的安全管路。上述多晶硅冷氢化洗涤系统,若文丘里循环泵发生故障不工作,导致洗涤塔内压力不断升高,安全管路开通,洗涤液循环泵抽取的一部分...
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