技术编号:3472930
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及节能,为了在多晶硅生产中降低成本,节约能源,充分利用尾气中混合氯硅烷,本发明提供的技术方案为从解析塔塔釜采出的100-150℃高温氯硅烷与换热器冷媒进行换热,获得70-115℃等于或稍低于泡点温度的混合氯硅烷,然后分别依次在解析塔压力和循环氯硅烷缓冲罐压力作用下送入循环氯硅烷缓冲罐和精馏塔,进行纯化,本发明避免了从解析塔采出后的过度降温和在精馏塔中再补充加温,节约了能源,降低了生产成本,并且具有节约蒸汽用量20%,及工艺简单,操作容易等有益效果。...
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