技术编号:3472931
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种多晶硅干法尾气分离回收的方法及装置,特点是首先从解析塔中下部侧线采出循环氯硅烷送去产品贮罐;再从解析塔塔底分离出较纯的贫液-高温吸收塔淋洗液,通过换热器设备,与吸收塔塔底吸收后低温的富液进行热量交换。所述的装置包括吸收塔、解析塔、换热器及循环液输送泵。本发明用从解析塔中下部侧线采出富含三氯氢硅的氯硅烷,再从解析塔塔釜采出温度高的123-135℃高纯贫液与温度低的15-35℃富液进行能量转化,即实现了高效分离干法尾气中各组分,又可以降低15-...
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