技术编号:3473094
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于多晶硅提纯领域,具体涉及一种应用于多晶硅定向凝固提纯的组合式坩埚,包括石英坩埚壁和石墨坩埚底,石英坩埚壁的下端与石墨坩埚底相互拼接;其中,石英坩埚壁为上下贯通的立体结构,石墨坩埚底的横截面形状与石英坩埚壁的横截面形状一致。本发明的优点在于(1)采用石墨材质作为坩埚底,充分利用石墨导热系数大的优点,提高了定向凝固效果,大大节约了能耗;(2)石英坩埚壁和石墨坩埚底采用拼接的方式连接,方便出现破损时更换,减小了成本;(3)固液界面控制稳定,波动小,方便...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。