技术编号:3474461
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种多晶硅还原节能生产工艺,涉及一种利用三氯氢硅和氢气还原生产多晶硅的工艺,该工艺是将来自精馏提纯工序的三氯氢硅与来自尾气回收工序的氢气会合到汽化器中,在汽化器中三氯氢硅与氢气按照15-10比例汽化,气化后的三氯氢硅与氢气混合蒸汽一路输送给过热器,经过热器加热至300-400℃,进入还原炉A,还原炉A出来的还原尾气与汽化器出来的二路三氯氢硅与氢气混合蒸汽汇集在一起,分别进入还原炉B和还原炉C,从还原炉B和还原炉C出来的尾气会合后进入过热器,从过热器出来的尾...
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