技术编号:34899587
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开内容的实施方式涉及在装置制造期间对多层堆叠结构的前馈控制。实施方式另外涉及基于在多工艺制造序列中的上游工艺之后所执行的光学测量对多工艺制造序列中的下游工艺的前馈控制。背景技术.为了开发制造工艺序列以在基板上形成部件,工程师将执行一或多个实验设计(designs of experiment;doe)以确定要在制造工艺序列中执行的一系列工艺中的每一工艺的工艺参数值。对于doe而言,通常通过使用每一制造工艺的不同工艺参数值来处理基板而针对制造工艺中的每一者测试多个不同工艺参数值。接着在下线...
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