技术编号：34899637
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。待测面姿态的检测方法及使用该检测方法的光学检测设备【技术领域】.本发明涉及一种光学检测技术，更具体地讲，本发明涉及一种应用色差因子来对待测面姿态进行检测的检测方法，以及使用该检测方法来对待测面姿态进行检测与调整的光学检测设备。【背景技术】.在微观尺度下的观测需通过显微系统来进行，当被观测物的形貌分布皆处于显微系统的聚焦平面的景深范围内时，被观测物的形貌可在显微系统中清晰显现。.其中，当被观测物的形貌分布具有一定程度的高度位置落差时，举例来说，被观测物具有倾斜状态，而使被观测物的被观测平面未...
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