技术编号:3496130
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,涉及混合气体分离净化处理装置及其净化处理混合气体的方法。本发明解决现有技术存在SF6和N2混合气体无法进行分离,造成SF6气体不能进行循环利用的问题。装置由混合气体入口管、缓冲罐、干燥器、压力传感器、网布式过滤器、压缩机、风冷器、热交换器、制冷机组、精馏塔、提纯罐、碱液槽、真空泵、液态灌装机及气体出口管组成。方法混合气体回收至提纯罐,SF6气体固化,提纯罐中N2抽出,提纯罐中SF6气体加热,提纯罐中SF6气体灌装,处理后SF6气体质量检测。本发明用于六氟...
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