技术编号：34992373
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种多个电性能测试功能被高密度集成在单一设备里的功率半导体测试设备。背景技术.电性能测试是功率半导体开发的重要环节，不同的电性能需要不同的设备或者不同的测试模块来进行。为了完成整个电性能参数的测试不得不在不同的设备或者测试模块之间切换，但是对于当前的功率半导体测试设备而言，在进行功率半导体的电性能测试时，切换各测试模块很麻烦和耗时。以是德科技(keysight)的测试设备为例，功率半导体的i/v电性能测试和c/v电性能参数采用不同的测试模块，相互之...
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