技术编号：3503737
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种新型磺酰酰亚胺(sulfonyl imide)和甲基化物(methide)光酸产生剂(photoacid generator)化合物(“PAG”)和包括该PAG化合物的光刻胶组合物。背景技术光刻胶是用于将图像转移到基材上的光敏薄膜。其形成凸像或凹像。将光刻胶涂敷到基材上之后，该涂层通过有图案的光掩模暴露在例如紫外光的活化能量源下，以在光刻胶涂层中形成潜像。该光掩模具有对活化辐射不透明和透明的区域，从而限定出期望要转移到下面基材的图像。对于很多...
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