技术编号:3504672
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及新型的芳香族锍盐化合物,详细而言,涉及芳香族锍盐化合物、使用了该化合物的光致产酸剂(Photo-acid generator)及阳离子聚合引发剂、以及含有它们的抗蚀剂组合物及阳离子聚合性组合物。背景技术锍盐化合物是通过受到光等能量线照射而产生酸的物质,被用于在半导体等电子电路的形成中使用的光刻法用抗蚀剂组合物中的光致产酸剂、和立体光刻用树脂组合物 (stereolithographic resin composition)、涂料、涂敷剂、粘接剂等...
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