技术编号:3505031
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及从包含氯化氢的含氟化合物(粗含氟化合物)中分离除去氯化氢的。更具体而言,本发明涉及在包含氯化氢的气体状或液体状的粗含氟化合物中添加 ニ甲醚作为第三成分来调制混合物,从该混合物中分离除去包含氯化氢和ニ甲醚的混合物来有效地获得高纯度的含氟化合物的。背景技术含氟化合物是在各种用途中使用的化合物,具体而言,已知作为冷却介质、半导体用材料气体等使用的一氟甲烷(CH3F)、三氟甲烷(CHF3)和五氟乙烷(CF3CHF2),作为半导体用蚀刻气体、半导体用清洗气...
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