技术编号:35165736
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。mems电容式加速度计及其制备方法技术领域.本公开属于传感器技术领域,具体涉及一种mems电容式加速度计及其制备方法。背景技术.mems电容式加速度计通常采用弹性梁与质量块构成,外界加速度输入时,弹性梁-质量块产生位移,二者组成的电容器的电容值改变,再由电容读出电路将变化的电容转化为电压信号,从而实现角速度信号到电信号的转换。mems电容式加速度计因其结构简单、工艺成熟、灵敏度高、温漂小以及良好的可集成性等优点而被广泛应用于生活、工业、军工、航天等各种领域。.而在军工、航天等领域中,瞬时冲...
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