技术编号:3518720
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及作为半导体电阻的原料有用的2-烷基-2-金刚烷基丙烯酸酯、及2-烷基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯(以下,将这些化合物简称为2-烷基-2-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯)的制造方法。背景技术 以烷基金刚烷基(甲基)丙烯酸酯等烷基金刚烷基酯作为原料制造的电阻,已知其在半导体制造工艺中的干刻蚀耐性高(例如特开平5-265212号公报),作为半导体用电阻材料的长远性而被关注。作为烷基金刚烷基酯的制造方法,已知的是使用由有机金属化合物构成的烷基化试剂对2-金刚烷酮...
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