技术编号:35200793
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。mems设备技术领域.本公开的实施例涉及一种mems设备(mems=微机电系统),诸如具有压电换能器(transducer)的mems设备。更具体地,实施例涉及一种具有致动器或传感器的形式的压电换能器的mems设备,诸如压电mems扩音器、压电mems压力传感器或压电mems麦克风。具体地,实施例涉及一种用于电修整压电mems设备的灵敏度和/或频率响应的概念(=方法或装置)。背景技术.压电mems设备可以被实施为例如mems麦克风或mems扩音器形式的mems声音换能器。mems麦克风用于记...
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