波导矩阵薄膜铌酸锂电光调制器的制作方法技术资料下载

技术编号:35221805

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.本发明属于光电集成器件领域,涉及波导矩阵薄膜铌酸锂电光调制器。背景技术.电光调制器是利用某些电光晶体,如铌酸锂晶体、砷化镓晶体或者坦酸锂晶体的电光效应制成的调制器。当把电压加到电光晶体上时,电光晶体的折射率将发生变化,从而实现对光信号的相位、幅度、强度以及偏振状态等特性的调制。随着人们对高速、大容量、集成化通信技术日益的迫切需求,人们希望在尽量减小集成器件的尺寸的同时能够保证电光调制器的调制作用。.然而现有的电光调制器存在损耗高、带宽小、半波电压过大无法与cmos兼容、无法满足高速通信需...
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