技术编号：3528035

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本发明涉及一种生产五氟乙烷的方法、一种使用由该生产方法获得的五氟乙烷生产六氟乙烷的方法，以及所得的五氟乙烷的用途。 背景技术 五氟乙烷(CF3CHF2)用作低温冷冻剂或作为蚀刻气体，也用作生产六氟乙烷(CF3CF3)的原料。关于生产五氟乙烷的方法，已经知道各种方法。例如，这些方法是(1)用氟化氢氟化四氯乙烯(CCl2＝CCl2)或其氟化产品的方法(参见日本未审专利出版物8-268932和日本国际申请国内出版物9-511515)，(2)使一氯五氟乙烷(CF3...
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