五氟乙烷的纯化方法、其制备方法及其用途的制作方法技术资料下载

技术编号:3528038

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本发明涉及五氟乙烷的纯化方法、制备方法及用途。背景技术 五氟乙烷(CF3CHF2)可用作例如低温制冷剂或蚀刻气体,也可用作制备六氟乙烷(CF3CF3)的原料。迄今已知以下方法用于制备五氟乙烷,例如,(1)用氟化氢氟化四氯乙烯(CCl2=CCl2)或其氟化物的方法(参见日本未审查专利申请No.8-268932(JP-A-8-268932)),(2)还原和氢化一氯五氟乙烷(CF3CClF2)的方法(参见日本专利No.2540409),和(3)将氟气与含卤乙烯反...
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