技术编号:3530004
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及三芳基锍盐的新的制造方法,所述三芳基锍盐可以用作抗蚀剂用酸产生剂或光阳离子聚合引发剂,所述三芳基锍盐阳离子部分的3个芳香环中,仅有1个芳香环的结构与另外两个的结构不同。背景技术 在半导体制造领域的照相平板工序中,三芳基锍盐被广泛用作光酸产生剂。采用卤化三芳基锍(例如氯化三芳基锍、溴化三芳基锍)作为中间体,可以很容易地将这些三芳基锍盐转换为各种阴离子(counter anion)。作为溴化三芳基锍的合成方法,已知如下方法(1)使二芳基亚砜与格氏试剂...
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