技术编号:3534179
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种化合物及其制造方法以及含有该化合物的抗蚀剂组合物。 背景技术 化学放大型抗蚀剂是利用将在放射线照射部位从酸发生剂发生的酸作为催化剂的反应,改变照射部位中的抗蚀剂相对碱显影液的溶解性的化学放大型抗蚀剂,由此给予正型或负型的图案。 化学放大型正型抗蚀剂通过在放射线照射部发生的酸在之后的热处理(post exposure bake以下有时简称为PEB)的作用下发生扩散,使树脂等保护基脱离,同时再生成酸,来使该照射部位成为碱可溶。 另外,化学放...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。