适合于酸生成剂的盐以及含有该盐的化学放大型正性抗蚀剂组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:3538025

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本发明涉及以下方面 <1>一种式(I)表示的盐 其中,X表示含有至少一个二价脂环族烃基的C3-C30二价基团,并且在所述C3-C30二价基团中的至少一个-CH2-可以被-O-或-CO-取代,Y表示可以被选自C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、C1-C6羟烷基、羟基和氰基中的至少一个基团取代的C3-C30环烃基,并且在C3-C30环烃基中的至少一个-CH2-可以被-O-或-CO-取代, Q1和Q2各自独立地表示氟原子...
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