技术编号：35406631
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及高压离子源电源领域，具体是一种便于维修的电源外壳及相应的高压离子源电源。背景技术.气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子，并被引出成束，根据不同的使用条件和用途，已研制出多种类型的离子源，使用较广泛的有弧放电离子源、pig离子源、双等离子体离子源和双彭源这些源都是以气体放电过程为基础的，常被笼统地称为弧源，高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的，也有广泛的用途。.现有的离子源电源可以满足足够的产能要求，但在其内...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。