技术编号:354472
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于多晶硅加工领域,尤其涉及一种将多晶硅棒破碎成多晶硅块的装置及 方法。背景技术生产多晶硅的西门子工艺,其原理是在1100°C左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高 纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上,同 时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量 副产热能的配套工艺。目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。西门子 法或改良西门子法生产的原生纯多晶硅是一种棒状结构。在直拉单晶硅原料时,需要将其 破碎成块状结构...
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