技术编号：35625177
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及扫描成像技术领域，特别是涉及一种扫描电子束成像装置、方法。背景技术.扫描电子束成像装置，广泛应用于科研领域各种固态物质的表面结构的显微成像和分析；随着现代微细加工和半导体集成电路的产业的发展，扫描电子束成像装置也愈来愈多的用于产线的在线量测和缺陷检测领域，这就要求除了满足很高的成像的质量的外，还必须满足检测过程对样品无损伤，并具备高的测量精度和检测灵敏度。.传统上，一种扫描电子束成像装置，如图所示。装置包括：.样品；.电子光学镜筒，主要实现一次电子束的发射，并在样...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。