技术编号:3568905
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电子级化学试剂的生产方法,尤其涉及一种超纯电子级盐酸、和超纯电子级异丙醇的生产方法。背景技术超纯电子级化学试剂(Ultra-clean and High-purity Reagents),又称工艺化学品(Process Chemicals),或湿化学品(Wet Chemicals),是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一。超纯电子级盐酸和异丙醇都是微电子化学试剂中很重要的品种,已广泛用于半导体元件的生产、超大规模集成电路装配以及...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。