技术编号:3568912
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电子化学品的生产方法,尤其涉及。背景技术电子级醋酸(acetic acid)是电子工业中一种重要的溶剂,是不可缺少的微电子化学品之一。工业上醋酸的生产、运输和储存过程中,由于原料和设备等原因,产品中难免带入一些灰尘颗粒、金属离子、未反应完全的原料和中间产物或副产物,而这些杂质尤其是金属离子的存在,很容易导致错层(OISF)的产生,因而增加p-n结合的漏电流、造成击穿、 及降低载流子的寿命,因此,对于线宽较小的集成电路,几个金属离子或灰尘颗粒就...
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