技术编号:3569745
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种生产白炭黑与四氯化碳的方法及装置,更具体来说涉及一种利用等离子体工艺,以四氯化硅和二氧化碳为原料生产白炭黑及四氯化碳的方法及装置。背景技术目前,绝大多数的多晶硅生产方法是改良西门子工艺,主要使用钟罩型反应器和与电极相连的8mm左右的硅芯作为沉积基底,采用高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。然而,这种改良西门子生产工艺存在SiHCl3R化率低,副产大量SiCl4需转化循环利用的缺点。四氯化硅的循环利用技术是西门子...
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