技术编号:3570078
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种超净高纯级甲苯提取装置,属于微电子化学品生产设备技术 领域。背景技术甲苯在微电子领域,作为清洗去油剂使用。甲苯为无色透明可燃液体,工业甲苯由 煤焦油分流或石油的芳烃化制得,其中含有苯、二甲苯、甲基噻吩等杂质,用于微电子领域 时,必须将工业级甲苯中的上述杂质去除。发明内容本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种能去除甲苯中杂质,满足微电子 领域使用要求的超净高纯级甲苯提取装置。本实用新型的目的是这样实现的一种超净高纯级甲苯提取装置,其特征...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。