技术编号：35725709
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种ems传感器测试设备技术领域.本实用新型属于测试技术领域，尤其是一种ems传感器测试设备。背景技术.mems传感器即微机电系统，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。在传感器生产完毕后需要通过检测装置对其进行检查，以确保传感器均可使用。测试设备一般为万用表，在使用时需要表针与传感器对应的接触片接触，以检测是否具有合格的电压、电阻等，但是这样的测试方式较为不便，容易出现表针打滑或者没有对准的情况，导致检测效率较低。....
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。