技术编号:35731675
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及三氯氢硅合成废水处理技术领域,具体为一种便于固液高效分离的三氯氢硅合成废水处理设备。背景技术.三氯氢硅生产过程中,总有一部分不凝尾气需要通过水洗排空,这部分尾气的主要成分为氧气、氮气、氢气、氯化氢和少量三氯氢硅气体。其中氢气含量在~%左右,氯化氢含量在~%左右,氮气含量为~%,氧气平均为.~%,三氯氢硅气体含量为.%以下。在水洗过程中,由于有氯化氢气体水洗后,水呈酸性,尾气中含有三氯氢硅气体,三氯氢硅遇水就会水解生成氯化氢和二氧化硅粉末,水洗中溶...
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