技术编号:3580877
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种适用于由涂敷成膜法形成用于等离子显示器(PDP)用介电质保护膜等的氧化镁薄膜的有机酸镁盐。背景技术 氧化镁薄膜广泛用于PDP用保护膜、绝缘膜、催化剂膜、表面保护膜等。以前,在形成以氧化镁为代表的金属氧化物薄膜的方法中,使用的是溅射法、真空蒸镀法等物理成膜法。在这些方法中,虽然能得到均匀且致密的高结晶性薄膜,但另一方面,由于是在真空系统下制膜,所以必须有大型且复杂的高价装置。另外,由于采用的是间歇式生产,所以还存在着生产效率差,制造成本高的问题...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。