技术编号:3582584
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明所属为非银盐成像材料领域。更具体地说,本发明涉及化学增幅型高分子成像组合物中所用的一类新型光产酸剂及其合成方法,此类化合物在光照射下可分解产酸,因此可作为化学增幅型高分子成像组合物的光产酸剂。背景技术光产酸剂是各类化学增幅型成像组合物的关键组分之一。具体地讲,它在光照时产酸,所产生的酸作为催化剂导致抗蚀剂膜层中的物质发生种种化学反应,从而使光照部分与非光照部分溶解反差增大,实现显影成像。就抗蚀剂而言,无论g线(436nm)、i线(365nm)、KrF...
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