技术编号:3582869
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种纯化用于制备复合半导体材料的金属烃的方法。背景技术 像移动式电话的快速个人通信的卓越发展已经对使用例如砷化镓和氮化镓的第III族复合半导体材料的半导体器件提出了更高要求。此外,复合半导体二极管已经达到了可以实际应用的水平,并且由于其具有高发射效率预计会有增加的需求。这些材料的制备通常是通过使用含有烷基的烷基第III族金属形式的反应物,例如三甲基镓、三甲基铝、三甲基铟和三乙基镓,作为一种组成组分进行有机金属化合物的汽相生长。复合半导体的特性主要...
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