技术编号:36043979
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种原子层沉积装置的结构改进,特别涉及一种叠层钙钛矿太阳能电池用原子层沉积装置。背景技术.可再生能源的发展对于快速增长的能源需求始终是一个迫在眉睫的问题。钙钛矿太阳能电池是以钙钛矿材料为吸光层,属于第三代太阳能电池,具有高光吸收系数和载流子迁移率等优良特性,且制备成本低,光电转换效率高。钙钛矿太阳能电池的优异特性使其在光伏领域,半导体光源领域和光学领域得到了广泛的应用。目前钙钛矿单结和钙钛矿硅叠层的转换效率分别高达.%和.%,在其他薄膜光伏技术中处于领先地位。叠层...
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