技术编号:36099328
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种半导体研磨设备的研磨液供给输送装置,属于研磨设备技术领域。背景技术.研磨利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒,通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面进行的精整加工(如切削加工),研磨可用于加工各种金属和非金属材料,加工的表面形状有平面,内、外圆柱面和圆锥面,凸、凹球面,螺纹,齿面及其他型面。.现有的,如中国专利号:cna中提供一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置,包括支撑框架,所述支撑框架下部一侧设有研磨液存储装置,另一侧设有纯净水存储桶,所...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。