技术编号：36105586
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于芯片检测辅助设备技术领域，具体涉及一种芯片角度控制装置。背景技术.芯片制造技术正向高密度、微型化、高速自动化、高成品率、高可靠性以及长寿命的目标发展，因此对芯片内部进行检测是芯片加工中必不可少的工序之一。.现通常利用x-ray芯片检测设备对芯片内部进行检测，但是在检测芯片过程中，通常是将芯片直接平铺放置在检测设备的检测台上对准x射线进行投影，因此x射线只能从单一角度穿透芯片。然而现目前芯片种类繁多，且内部结构趋于复杂，各微电子元器件间由于结构不同或材料不被x射线穿透的特性，单一...
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