技术编号：36168309
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及气体浓度测量领域，特别是涉及一种气体浓度测量装置及气体浓度测量方法。背景技术.常见的测量气体浓度的方法分为接触式或非接触式。接触式的包括半导体型，催化燃烧型，电化学型，特点是需要气体与传感器接触发生反应，从而测量气体浓度。非接触式主要是基于激光测量技术的，包括ndir(非色散红外)，tdlas(调谐半导体吸收光谱)，crd(光腔衰减)等方法。.为了实现特定目的，气体常常会被填充入中空透明结构中，例如，在化学反应或半导体制程中，为了使得化学反应或半导体制程不受其它气体的影响，需要...
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