技术编号：36193628
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种流体控制阀及其制造方法，所述流体控制阀具备：流路，其供控制流体流动；环状阀座，其设置在流路上；膜片构件，其通过与环状阀座抵接分离而对控制流体的流动进行控制；以及驱动轴，其与环状阀座排列在同轴上，沿抵接分离的方向驱动膜片构件。背景技术.作为通过阀芯与阀座抵接或分离来控制流体的流动的流体控制阀，例如在半导体制造装置中使用有化学液阀作为进行化学液的流量控制的流体控制阀。在这样的流体控制阀中，被驱动轴驱动的膜片构件与环状阀座抵接分离，由此对控制流体的流动进行控制。作为膜片构件，例如已...
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