技术编号:36213318
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种脱胶工装,具体涉及一种硅片脱胶工装,属于硅片脱胶技术领域。背景技术.硅片表面的洁净度是影响硅片合格率和电池转换效率的关键因素。为获得洁净度高的硅片,往往硅片在经过线切割后需经过脱胶清洗和精细清洗两个部分,而作为第一道清洗工序的脱胶清洗虽然没有切割工艺要求那么高,但也是获得洁净片的重要工序。.自动脱胶是目前脱胶工艺环节的主要生产方式,其自动化程度高,可控性好,生产效率高,极大地降低了硅片的碎片率,为厂家节约了生产成本。目前市场上国产的全自动硅片脱胶机主要的生产流程是冲洗、...
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