技术编号：36244256
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体器件的制造方法及半导体器件。背景技术.现有典型滤波器通常包括串联在输入端口和输出端口之间的至少一个串联谐振器、以及并联在输入端口和输出端口之间的至少一个并联谐振器，其中，串联谐振器和并联谐振器具有不同的频率。下面以串联谐振器和并联谐振器均采用薄膜体声波谐振器实现、且串联谐振器的频率高于并联谐振器的频率为例对现有滤波器的制造过程进行说明。.具体地，首先提供衬底；接着刻蚀衬底以在待形成串联谐振器和并联谐振器的区域上分别形成凹槽，并利用牺牲材料填充该...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。