柔性铰链式压电精密运动平台的制作方法技术资料下载

技术编号:36266536

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.本发明涉及压电精密驱动微位移平台设备技术领域,具体涉及一种柔性铰链式压电精密运动平台。背景技术.作为一种精密驱动技术,压电精密运动平台利用压电陶瓷逆压电效应,将电能转换为机械能,从而实现运动输出,在航空航天、生物科技、纳米定位等领域具有迫切的应用需求。.目前,大多数压电精密运动平台行程较大,但大多为单自由度运动平台,少数多自由度精密运动平台存在结构复杂、精度低、驱动效率低等问题,极大地影响了压电精密运动平台的推广。发明内容.本发明的目的在于提供一种结构简单、精度高、驱动效率高、驱动件承...
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