技术编号:36267995
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及人工智能技术领域,特别涉及一种真空镀膜设备壁板清洗控制系统的异常报警方法及系统。背景技术.真空镀膜设备(vacuum coating machine)用于实现在较高真空度下镀膜处理,真空镀膜设备的镀膜处理(主要分为蒸发和溅射)通常包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发、磁控溅射、mbe分子束外延、pld激光溅射沉积、离子束溅射等。真空镀膜设备在运行一段时间后,其清洗工作必不可少,然而传统的人工清洗技术存在效率低下且容易造成生产事故等问题,而针对此的其中一个改进技术是利用自动化的壁板...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。