技术编号:36300493
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于半导体器件技术领域,具体涉及一种多级沟槽悬浮结器件结构。背景技术.世纪的能源网络,无论是太阳能、风能和储能等可再生能源,还是电动汽车和变频电机等高效负载,都需要功率半导体来实现。随着全球制定“碳达峰、碳中和”目标,将带来更多绿色能源发电、绿色汽车、充电桩、储能等需求,这些需求对能源控制核心的功率半导体器件提出了更高的要求。在功率半导体器件中,悬浮结器件通过在漂移区中设计不与电极直接连接、掺杂类型与漂移区相反的悬浮结区域,对漂移区的电场产生调制作用,使得器件可以在保持击穿电...
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