技术编号：36314090
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种防反流的流量控制器，以及一种半导体器件的加工设备。背景技术.半导体器件的加工设备通常具有复杂的管路，不同种类的反应气体和载气经由这些管路被输送到设备的各个部件，以进行气相沉积反应和吹扫工作。受到空间及管路使用经济性的要求和限制，这些管路的管道尺寸基本一致。.然而，在实际使用半导体器件的加工设备时，有些气体需要限制流量，有些气体需要限制流动方向，从而导致半导体器件的加工设备内部气体的流量控制与运动方向十分繁杂。而且，受到高温、射频电场等环境和空间的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。